Modifikaciya svojstv ITO plenok pri ionno- luchevoj obrabotke

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Artikelnummer:
1191410
  • Produktbeschreibung

    Modifikaciya svojstv ITO plenok pri ionno- luchevoj obrabotke

    Dannaya kniga yavlyaetsya obobshheniem raboty avtorov v ramkah dissertacionnoj raboty Zakirovoj R.M. V knige opisano primenenie oblucheniya nizkojenergeticheskimi ionami dlya modifikacii svojstv tonkih plenok, v chastnosti oxida indiya, legirovannogo olovom. Pokazano, chto ispol'zovanie ionno-luchevoj obrabotki, cheredujushhejsya s processom reaktivnogo VCh magnetronnogo raspyleniya, pozvolyaet poluchat' prozrachnye provodyashhie pokrytiya pri nizkih (25 - 50 °C) temperaturah osazhdeniya
  • Zusatzinformation

    Verlag
    LAP Lambert Academic Publishing
    ISBN / EAN
    9783659682957
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